1x 16/1x 19 - 3x 244/3x 276 м3/час
100 - 200 мбар (абс.)
100 - 200 мбар (абс.)
1x 18/1x 21 - 3x 300/3x 360 м3/час
<1 - 0.5 мбар (абс.)
<1 - 0.5 мбар (абс.)
модуль вакуумной системы
может быть оборудован любым типом и количеством насосов
может быть оборудован любым типом и количеством насосов